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本科毕业论文开题报告
题 目： 椭偏法测量介质薄膜的厚度和折射率
院 系： 培黎工程技术学院
专 业： 物理学
班 级： 物理121班
姓 名： 李 彤
指导教师： 郭中华
申报日期： 2015-12-12
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1．本课题的研究意义
厚度和折射率是光学材料的基本性能参数之一，也是光学设计的基础，准确获得光学材料在紫外波段的厚度值折射率值对光学材料的生产、使用以及光学设计都非常重要。为了准确获得光学材料的厚度值和折射率值，就需要对光学材料进行准确测量。
本文阐述了一种椭偏法测量介质薄膜厚度和折射率的方法，利用该方法测量光学材料的厚度和折射率时，只需将被测材料加工成较薄的平板形式，因此非常适合于尺寸较小的光学材料以及光学元件折射率的测量。由于实验室器材的紧缺，需要自己组装简易的椭圆偏振仪，仿真椭偏仪对介质薄膜进行测量，实验的顺利完成有利于培养学生的动手动脑能力，更能进一步加深自己对椭偏法的理解，更好的掌握椭偏法测量光学材料的原理、具体操作和注意事项。
2．本课题的基本内容
本文椭偏法的理论依据，系统地设计了椭圆偏振仪的实验主要流程，同时详细的解释了有关椭偏法的各环节的详细步骤，最终求得所测光学薄膜的厚度和折射率
首先，介绍了椭圆偏振仪的简单构造及使用原理，由于实验室没有椭圆偏振仪，要自己组装模拟椭圆偏振仪，用椭偏法来进行测量待测光学薄膜，其次，按照设计思路设计实验具体流程。最终根据实验数据求得待测光学薄膜的厚度和折射率，整理并处理数据得到自己的预期效果，并对数据进行误差分析得出结论。
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3．本课题的重点和难点
本课题的重点是：（1）掌握如何运用椭偏法来测量光学薄膜的厚度和折射率；（2）掌握椭偏法测光学薄膜实验的具体步骤及数据分析。
本课题的难点是：（1）怎样设计易用、实验效果好的实验流程；（2）如何利用所得数据整理出理想的实验结果。
4．论文提纲
1 绪论
1.1 研究背景及意义
1.2 研究内容
2 椭偏法的基本理论
光波的偏振
椭偏法的基本原理
消光法 直接计算法
3 椭偏法测量薄膜厚度和折射率的实验研究
实验设计
测量
3.3数据的处理及分析
5 结论
6 参考文献
[1] 陈燕平,余飞鸿.薄膜厚度和光学常数的主要测试方法[J].光学仪器.2006，28（6）
[2] 孙香冰等.测量薄膜折射率的几种方法[J].量子电子学报.,2005,22(1).页码
[3] 范江玮等.多层模型计算椭偏法测量的SiO2 /Si超薄膜厚度[J].测试技术学报,2012,26(5).
[4] 郭文胜等.椭偏光谱测量中模型的任意性与合理性[J].电子科技大学学报,1998,27(增刊).
[5] 马逊等.椭圆偏振仪测量薄膜厚度和折射率[J].云南师范大学学报,2005,25(4).
[6] 王洪涛.椭圆偏振法测量薄膜参量的数据处理[J].物理实验, 2001，21(7).
[7] 王雷等.椭偏法测量光学材料折射率[J]2011，
[8] 武颖丽,李平舟.基于椭偏法的介质薄膜光学常数测量研究[J].应用光学,2008,39(专刊).
[9] 陈星,叶兵.椭圆偏振仪测量薄膜光学常数数据处理方法[J].2009.
[10] 陈星等.椭圆偏振仪测量薄膜折射率及周期厚度解的分析[J].实验技术与管理,2011.28(6).
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指导教师意见：
指导教师：
年 月 日
院系审查意见：
院系负责人：
年 月 日